送樣須知:
1、各種固態材料,樣品厚度不超過20mm;
2、最大掃描區域是600×400μm,超過這個區域需要拼接,拼接另外計費,每次拼接會有30%區域重疊。
應用于納米尺度的表面輪廓測量、薄膜厚度測量、表面形貌測量、應力測量和平整度等精密測量,應用于微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、光學、科學研究和材料科學領域。
1、掃描長度:50μm~55mm;
2、垂直測量范圍:1mm;
3、臺階高度重復性:4Å;
4、探針壓力:1~15mg;
5、探針曲率半徑:0.2-25um。